Antireflecterende coating optische glassubstraten voor inspectiesystemen

Antireflecterende coating optische glassubstraten voor inspectiesystemen

Materiaal:

• Basissubstraat: hoogprecisie borosilicaatglas (bv. Borofloat 33) of gesmolten silica, geselecteerd omwille van uitzonderlijke vlakheid, thermische stabiliteit en chemische weerstand.

• "Technologie" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologieën" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologieën" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologieën" voor "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling", "ontwikkeling" en "ontwikkeling".

• Ontwerpsoorten: aanpasbaar als breedband-AR (zichtbaar-NIR-spectrum) of V-coating (optimalisatie met één golflengte).

Belangrijkste eigenschappen:

1. Ultra-lage reflectie: bereikt < 0,5% oppervlaktereflectie (tegenover 4-8% voor ongecoat glas), waardoor de lichtdoorvoer wordt gemaksimaliseerd.

2. Hoge transmissie-efficiëntie: levert >99,5% lichttransmissie in doelgolflengten, waardoor signaalverlies tot een minimum wordt beperkt.

3. Hoekstabiliteit: handhaaft de prestaties over 0-45° inslaghoeken die cruciaal zijn voor schuine beeldvorming.

4. Duurzaamheid in het milieu: bestand tegen delaminatie, vochtigheid en UV-afbraak bij continue werking.

5. Oppervlakkegehalte: Sub-Ångstrom ruwheid (<5Å Ra) voorkomt lichtverspreidende artefacten.

6. Thermische en chemische weerbaarheid: bestand tegen reinigingsoplosmiddelen en thermische cyclus (-60 °C tot +300 °C).

Primaire functie:

• Om afwijkende reflecties te elimineren en het contrast te maximaliseren in optische inspectiesystemen met hoge precisie.

• Minimaliseert spookbeelden en flare veroorzaakt door oppervlakte weerspiegeling.

• Verbetert de signaal-ruisverhouding voor nauwkeurige detectie van defecten.

• Behoudt de lichtintensiteit over complexe optische paden.

Belangrijkste toepassingen in inspectiesystemen:

1. Metrologie van halfgeleiders:

   • Waferdefectscanners

   • EUV-lithografie-inspectie-optica

   • Systemen voor het uitlijnen van maskers

2. Geautomatiseerde optische inspectie (AOI):

   • Verificatie van PCB-assemblage

   • Defectdetectie op het schermpaneel (OLED/LCD)

3. Biomedische beeldvorming:

   • Microscoopdoelen voor pathologie

   • Flowcytometrie-lenzen

4. Industriële zichtsystemen:

   • Sensoren voor lasertriangulatie

   • met een vermogen van niet meer dan 50 W

5. NDT in de luchtvaart:

   • Ultrasone proefvensters

   • Endoscoopoptica voor de inspectie van turbines

6. Fotonische testen:

   • optische interferometerplaten

   • Spectrometervensters

In wezen:met een vermogen van niet meer dan 10 Wzijn precisietechnische onderdelen die door reflectie veroorzaakte nauwkeurigheidsproblemen in kritieke inspectiesystemen oplossen.Door het aanbrengen van geavanceerde meerlagige dielectrische coatings op ultravlakke borosilicaat- of gesmolten silica-substraten, verkrijgen zij bijna onzichtbare oppervlakteprestaties (< 0,5% reflectievermogen), waardoor fouten op micron/submicron schaal kunnen worden gedetecteerd.Deze substraten verbeteren rechtstreeks de betrouwbaarheid van de halfgeleidermetrologie, AOI-apparatuur en biomedische beeldvormingstools waar elk foton belangrijk is.